MKS GE50A質量流量計

GE50A質量流量控制器

GE50A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在多種應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。

對于當今市場上的質量流量控制器，GE50A可作為直接替代的產品，標準的3英寸底座使GE50A能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。

技術參數：

全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。

控制量程：2% to 99%的全量程。

測量精度：全量程的1%

靈敏度：全量程的0.1%

熱機時間：小于2Min.

響應速度：小于2Sec.

輸入電壓：±15VDC@100ma

輸出電壓：0-5VDC

連接器：模擬：9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數字：RS485或Device net或Profibus

法蘭接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等

材質：316不銹鋼。

質保期：有限保修自售出之日起12個月。